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電子行業(yè)常見(jiàn)的廢氣及廢氣處理吸收塔的凈化方式
點(diǎn)擊次數(shù)：438 更新時(shí)間：2025-08-19
在電子行業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中，會(huì)產(chǎn)生多種廢氣，主要包括酸性廢氣、堿性廢氣、揮發(fā)性有機(jī)廢氣（VOCs）、含氟廢氣等。這些廢氣若未經(jīng)處理直接排放，會(huì)對(duì)環(huán)境和人體健康造成危害，因此需要采用有效的凈化方式加以治理。
一、酸性廢氣
酸性廢氣主要來(lái)源于蝕刻、清洗等工藝過(guò)程中使用的酸液，如鹽酸、硝酸、磷酸等。常見(jiàn)的凈化方式是采用堿液噴淋塔，利用堿性溶液（如氫氧化鈉溶液）與酸性氣體發(fā)生中和反應(yīng)，生成無(wú)害的鹽類(lèi)和水。這種吸收塔通過(guò)氣體分布器將廢氣均勻分布，使廢氣與噴淋的堿液充分接觸，從而實(shí)現(xiàn)高效的凈化效果。
二、堿性廢氣
堿性廢氣主要來(lái)源于光刻工序中使用的四甲基氫氧化銨（TMAH）等堿性物質(zhì)。處理這類(lèi)廢氣通常采用酸液噴淋塔，利用硫酸等酸性溶液進(jìn)行吸收。通過(guò)噴淋塔的多級(jí)噴淋和填料層的接觸，可以有效去除堿性氣體，達(dá)到環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)。
三、揮發(fā)性有機(jī)廢氣（VOCs）
VOCs主要來(lái)源于涂膠、顯影工序以及有機(jī)溶劑清洗過(guò)程。處理VOCs的吸收塔凈化方式包括：
活性炭吸附：利用活性炭的高吸附性能，將VOCs吸附在活性炭表面，從而實(shí)現(xiàn)凈化。這種方法適用于低濃度、大風(fēng)量的VOCs廢氣處理。
沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+燃燒：先通過(guò)沸石濃縮轉(zhuǎn)輪將VOCs濃縮，然后將濃縮后的高濃度廢氣進(jìn)行燃燒處理。這種方法凈化效率高，適合處理高濃度的VOCs廢氣。
催化燃燒：在催化劑的作用下，VOCs在較低溫度下被氧化分解為二氧化碳和水。催化燃燒技術(shù)適用于處理中高濃度的VOCs廢氣，具有高效、節(jié)能的特點(diǎn)。
四、含氟廢氣
含氟廢氣主要來(lái)源于干蝕刻、化學(xué)氣相沉積等工藝中使用的全氟化合物（PFCs）。處理含氟廢氣的吸收塔凈化方式包括：
燃燒法：通過(guò)燃料燃燒器將PFCs分解，然后用堿性溶液吸收產(chǎn)生的酸性氣體。
催化氧化法：利用催化劑在較低溫度下將PFCs氧化分解。
洗滌塔：通過(guò)堿性溶液洗滌，去除廢氣中的氟化物。
五、其他廢氣
電子行業(yè)還可能產(chǎn)生一些其他廢氣，如一般廢氣和含氮氧化物廢氣。一般廢氣通常含有廢熱，可直接排放。含氮氧化物廢氣則可通過(guò)選擇性催化還原（SCR）或選擇性非催化還原（SNCR）技術(shù)進(jìn)行處理。
總之電子行業(yè)產(chǎn)生的廢氣種類(lèi)繁多，成分復(fù)雜，需要根據(jù)廢氣的性質(zhì)選擇合適的凈化方式。吸收塔作為一種有效的廢氣處理設(shè)備，通過(guò)物理吸收、化學(xué)反應(yīng)等原理，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)多種廢氣的高效凈化，為電子行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展提供了重要保障。
